设备简介

设备配置铌、硅等靶材，可在膜片、复合板、玻璃等2D、3D素材上制备Nb2O5、SiO2、Si3N4等膜层，完成AR、超硬AR、颜色膜、分光膜、滤光片等光学膜系，并同机完成AF膜镀膜。

设备适用于2D、3D车载显示屏以及笔电、工控显示屏和手机摄像头盖板减反光镀膜， VR、AR等现代智能电子产品的光学元件镀膜以及手机后盖、中框彩色装饰镀膜。

可镀面积（公转）和生产节拍：

独家特色：

膜厚控制：配置三束 “第二代工件架上膜厚实时监控系统”，做膜厚精准控制，保证复杂真空环境下膜层厚度的稳定性和重复性。

外围配套：

装取挂板：镀膜后挂板从夹具筒上卸下和未镀挂板装到夹具筒上均由专用设计定制的机械手自动完成。