SWOS系列大型磁控溅射光学镀膜机

SWOS-2000型磁控溅射镀膜设备是三束镀膜于2012年独立设计制造的第一台大型磁控溅射设备,它采用单真空室配合膜厚测控系统方案实现了光学薄膜大批量制备的,解决了国外厂家只能通过过渡真空室才能解决的光学薄膜镀膜重复性的问题,为国内光学镀膜行业做出了贡献,也为国际镀膜界贡献了中国方案。

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设备介绍

该设备采用分子泵+水汽捕集器+前级机组的抽气结构,配备工件架晶控系统。拥有阳极层离子源,可以提高可镀膜层的附着力。


此设备在2017年率先实现华为P20渐变色5G手机后盖研发,并提供装备给比亚迪做量产,实现了5G手机后盖制造产线最后一个国产化节点,进而推动了3C装备全面国产化进程。


目前,SWOS系列镀膜机已经发展出SWOS-1680、SWOS-2000、SWOS-2121、SWOS-2621等不同型号,以满足不同行业不同客户的个性化需求。


性能特点

1.采用一键式全制程全自动操作方式;

2.可在PET膜片、玻璃、陶瓷等基材上进行化合物成膜;

3.设备采用双门结构,左门在装卸产品的同时,右门可以完成膜层的快速沉积。左右门切换速度快,可大幅提升镀膜效率;

4.在线膜厚测控系统,产品光谱稳定性好、重复性高;

5.每对靶配备靶挡板系统,实现镀前洗靶,保证产品品质。


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