MTC陶瓷金属化镀膜机

陶瓷金属化是电子元器件制造领域重要的制程,广泛用于电阻、电感、电容等基础电子元器件的制造,也用于5G通讯领域的陶瓷滤波器的制造,在传感器、MEMS的封装制程也有大量应用。

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三束公司多年来致力于真空镀膜底层技术和成膜机理研究,在膜基结合力、镀前基材等离子清洗、高速成膜、膜层微观结构评价等方面都有多项研究成果成果。三束公司MTC系列陶瓷金属化镀膜机,采用真空蒸镀、磁控溅射、离子镀等多种成膜手段,镀前离子清洗能力强,膜层种类多,热应力匹配好,具有3D异形工件膜层均匀性好、膜基结合力好、产品适应性强等优点,得到了客户的广泛认可。


技术参数

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