SEMI-1680是一款单体双门磁控溅射镀膜机，采用直流磁控溅射技术在芯片或其它电子元件表面沉积铜、不锈钢等金属导电薄膜，是电磁屏蔽功能镀膜（EMI）的专用设备，应用于半导体芯片、传感器等电子和微电子产品的生产制程。
性能特点
1、采用低温泵或分子泵加深冷做高真空获得系统，有效去除水汽对成膜过程的影响；
2、溅射阴极配备档板，镀前洗靶，保证膜层品质；
3、溅射靶和离子源置于真空室门上，便于维护保养和靶材更换；
4、采用三束研发的“第二代工件架上膜厚实时监控系统”，膜厚控制精准稳定。
0755-27525981